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1、平行度測量原理 平行度測量由兩組直線度測量組成，兩次測量都以直線度反射鏡的光學軸為參考基準。需要說明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個正交平面內沿每個要被比較的軸測量直線度。因此，平行度或平行線測量實際是四次直線度測量，每次的步驟和方法同測量直線度一樣，如下圖所示…[詳情]

1、回轉軸測量原理利用鐳測激光干涉儀的角度測量附件，結合高精密轉臺，便可以對回轉軸進行校準。轉臺小巧輕便，單手可握住并可以多種方式安裝到機床上；支持內置電池或線纜供電，藍牙傳輸數(shù)據(jù)；內置準直光靶，提高對光效率；任意角度、任意間隔自動測量。 2、測量步驟和數(shù)據(jù)處理[詳情]

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干…[詳情]

Information in English:LH1000 Dual-frequency Interferometer.pdfNonlinear error analysis and experimental measurement of Birefringence-Zeeman dual-frequency laser interferometer.pdf[詳情]

滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎， 在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時， 將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里， 一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；[詳情]

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展而來的一種基于外差技術的高精度測量儀器，它克服了單頻激光干涉儀易受環(huán)境影響的弱點，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。由于這一特點，雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以…[詳情]

LG1000系列雙頻激光器采用自主知識產(chǎn)權的Zeeman-雙折射雙頻激光器，可定制1~20MHz的頻差，出光功率不受頻差的限制。無圓偏振光轉線偏振光帶來的非線性誤差，在超精密加工以及光刻機超精密計量等領域具有廣闊的應用前景。功能：直接出雙頻的激光器，灌封好加熱電阻絲，供用戶自主開發(fā)雙…[詳情]