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1、垂直度測量原理 垂直度測量的主要采用同一個測量基準軸對兩個標稱正交坐標中的每一個軸測量直線度。對兩個直線度測量值進行比較，算出兩個軸之間的垂直度。共同的參考基準是直線度反射鏡的光學基準軸。需要注意的是，兩次測量直線度之間既不移動也不調整。兩次直線度測量過程中至少一…[詳情]

1、平行度測量原理 平行度測量由兩組直線度測量組成，兩次測量都以直線度反射鏡的光學軸為參考基準。需要說明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個正交平面內沿每個要被比較的軸測量直線度。因此，平行度或平行線測量實際是四次直線度測量，每次的步驟和方法同測量直線度一樣，如下圖所示…[詳情]

1、回轉軸測量原理利用鐳測激光干涉儀的角度測量附件，結合高精密轉臺，便可以對回轉軸進行校準。轉臺小巧輕便，單手可握住并可以多種方式安裝到機床上；支持內置電池或線纜供電，藍牙傳輸數(shù)據(jù)；內置準直光靶，提高對光效率；任意角度、任意間隔自動測量。 2、測量步驟和數(shù)據(jù)處理[詳情]

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干…[詳情]

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實驗目的掌握激光橫模、縱模的概念；學會使用貓眼逆向器觀察激光橫模；學會使用掃描干涉儀觀察激光縱模，并學會計算縱模間隔。實驗內容[詳情]

Information in English:LH1000 Dual-frequency Interferometer.pdfNonlinear error analysis and experimental measurement of Birefringence-Zeeman dual-frequency laser interferometer.pdf[詳情]

滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎， 在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時， 將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里， 一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；[詳情]