在調(diào)節(jié)雙頻激光干涉儀光路時，請遵循以下基本流程：

1、  將雙頻激光器放置在激光器可調(diào)底座（如有）上，通電點(diǎn)亮激光器，等待其預(yù)熱；如預(yù)熱結(jié)束，激光器尾部的“READY” LED指示燈會顯示綠色。鎖定激光器位置。

2、   將所有導(dǎo)光元件初步固定在導(dǎo)光元件可調(diào)底座上，并安裝在設(shè)計位置；沿著光路順序，逐個調(diào)節(jié)導(dǎo)光元件。遇到光路分叉時，請先調(diào)節(jié)反射光路，然后調(diào)節(jié)投射光路。調(diào)節(jié)時請注意以下兩點(diǎn)：

a：旋轉(zhuǎn)激光器出光口的光闌，選擇大光斑（6mm或者9mm光斑），依次調(diào)整導(dǎo)光元件的橫向位置，使光束從導(dǎo)光元件通光孔的中心入射，保證光束不會出現(xiàn)消光現(xiàn)象；

b：選擇小光斑（3mm光斑），依次調(diào)節(jié)各個導(dǎo)光元件的位置。將一平面鏡（前后面平行度較高）緊貼導(dǎo)光元件的反射光出口處，通過調(diào)整可調(diào)底座的俯仰度和傾斜度，使反射光沿原路返回至激光器出光處。然后鎖緊導(dǎo)光元件的位置。

3、     裝調(diào)完所有的導(dǎo)光元件之后，安裝干涉儀。請遵循以下步驟：

a：確保運(yùn)動臺上的反射鏡面與運(yùn)動軸垂直（運(yùn)動臺的裝配工藝保證）。

b：調(diào)節(jié)光軸與運(yùn)動軸平行。初步固定干涉儀，選擇小光斑，在運(yùn)動臺的光斑位置做個記號（比如在被測對象上貼紙片，在紙片上光斑照射的位置做個記號），將運(yùn)動臺沿運(yùn)動方向移動至距干涉儀近端與遠(yuǎn)端，通過調(diào)整離干涉儀的導(dǎo)光件使得激光束入射到測量鏡的位置始終嚴(yán)格保持不變。反復(fù)將運(yùn)動臺移動至近端與遠(yuǎn)端，微調(diào)導(dǎo)光件位置以達(dá)到較佳效果。

c：微調(diào)干涉儀的位置，使干涉儀出光面處測量光斑和參考光斑重合。

d：切換成大光斑，確認(rèn)參考光斑和測量光斑重合，且光斑形狀完整（不消光）。

e：安裝光纖耦合器。

f：連接光纖至信號處理卡。